MLase MLI-500 用于工业应用的准分子激光器-设备-产品型号-北京汉达森机械技术有限公司

MLase MLI-500 用于工业应用的准分子激光器

品牌MLase	有效期至长期有效	最后更新2025-10-28 16:05
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用于工业应用的准分子激光器

我们的激光器服务于广泛的工业过程。通过模块化设计方法，我们定制每个系统以满足特定的客户需求，提供：

波长：193nm、248nm（其他可根据要求提供：157nm、308nm、351nm）

水冷选项

重复频率高达 1 kHz

工业应用非常多样化。我们通过模块化系统为他们提供支持，以满足所有个性化要求。我们很乐意根据您的需求配置您的激光器 - 取决于波长（193nm、248nm、308nm），带或不带水冷，脉冲重复率目前高达 1 kHz。

根据配置（带或不带水冷），它们非常紧凑，尺寸为 560 毫米 x 355 毫米 x 445 毫米（不含突出部件）。

这些准分子激光器的典型工业应用包括：

光纤布拉格光栅（FBG）的书写

光学检测和计量，例如测试微光学器件

激光结构和划线

陶瓷、金属或塑料等材料的微加工

激光烧蚀/脉冲激光沉积（PLD、ICP-MS）

在半导体制造中，用于检测掩模或直接晶圆加工

在连续运行应用中，我们的激光器已被证明特别坚固。在需要更换光学器件之前，我们保证数亿个激光脉冲。

MLI-500 型号凝聚了我们在准分子激光技术上的深厚积累，为工业应用提供了理想的解决方案：

强大的脉冲能量与工业稳定性
提供高达500毫焦耳级别的脉冲能量，确保在加工过程中有足够的能量密度以实现高效、清洁的材料处理。其卓越的能量稳定性和重复频率稳定性，是保证大批量生产良品率的基石。
灵活的波长选择
可根据加工材料的不同，提供193nm、248nm、308nm等多种深紫外（DUV）波长选项，以适应从精密光刻到表面处理的各种应用需求。
工业级的设计与长寿命
采用模块化设计与长寿命激光腔体，大幅降低了维护成本和停机时间。其结构坚固，能够适应工业环境下的连续稳定运行，有效控制总拥有成本。
卓越的光束质量
提供均匀、平整的光束轮廓，这对于实现高精度的微细加工和均匀的曝光/烧蚀效果至关重要。
集成便捷与智能控制
配备用户友好的控制接口和完善的软件支持，可轻松集成到自动化生产线中，实现智能化操作与监控。