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| 品牌MLase | 有效期至长期有效 | 最后更新2025-10-28 16:03 |
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MLase 准分子激光器 MLI-ARF-200 用于半导体设备
MLase 准分子激光器 MLI-ARF-200 用于半导体设备
准分子激光器的外围元件
MLase 很乐意为您的应用要求量身定制外围组件来补充我们的激光源。
这些可能包括：
光束传输系统，用于将散光输出光束转换为均匀或高斯光束轮廓，并以最小的损耗将光束引导到应用平面
用于将激光束有效耦合到光纤中的光纤耦合装置
| 陈聪霞 QQ：2850590593 手机：18518172431 电话：010-64717020-178 传真：010-84786709-666 邮件：2850590593@qq.com |
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用于监测和控制激光能量的能量测量装置
用于安全关闭激光束的百叶窗
用于自动气体交换的供气系统。这些系统包括卤素过滤器，用于安全排放用过的激光气体
用于洁净室集成的冷却风扇连接器
MLase生产用于医药和工业的紧凑型准分子激光器.
MLI 系列准分子激光器为工业应用提供各种波长。当然，如果需要，基本设备可以根据个人需求进行调整。
MLase除了激光系统外，还提供个性化定制的附加组件，例如光束传输系统、能量测量设备和气体处理装置
核心参数一览：
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型号: MLI-ARF-200
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货号: 509265-01
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激光类型: ArF 准分子激光器
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输出波长: 193 nm
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平均输出功率: 200 W级别
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关键特性: 高功率、高稳定性、高重复频率
在半导体行业的核心应用
MLI-ARF-200是支撑现代半导体制造的关键装备，其主要应用包括：
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高端光刻: 是ArF浸没式光刻机的核心光源，广泛应用于28nm、14nm乃至更先进制程的逻辑芯片和高端DRAM存储芯片的制造。
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先进封装: 在晶圆级封装、扇出型封装等2.5D/3D封装技术中，用于硅通孔、再布线层等关键结构的微细加工。
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微纳加工与科研: 适用于MEMS器件制造、光子晶体刻写等需要超高精度微加工的科研与工业领域。
