德国 ADL GX 50 溅射直流电源（GX50）

ADL（Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH，德国达姆施塔特）GX 50 是专为磁控溅射镀膜开发的 5kW 水冷型高精度直流电源，属于 GX 系列，主打高速自动灭弧，是反应溅射、硬质涂层行业主流电源机型。GX50 下面分三个子型号：GX50/250、GX50/800、GX50/1000。

一、型号分支基础规格

表格

输出为浮地（Floating），正负两端均可悬浮，适配真空靶材溅射接线，无强制接地端限制MELEC GmbH。

二、核心电气参数

• 输入电源：标准三相 400 VAC ±10%，50/60 Hz；可选 208 / 440 / 480 V 版本
• 输入容量：约 6 kVA
• 输入保险：3×16 A
• 控制模式：恒压 CV / 恒流 CC / 恒功率 CP，三模式可切换
• 设定与精度：设定范围 0–100% 额定值；电压、电流、功率输出精度：±1% 满量程
• 灭弧能力（核心卖点）：最高可自动处理 40000 次电弧 / 秒；熄弧时间：6 μs ~ 3 ms，延时自动可调，抑制靶材打弧、烧靶，适合反应溅射（氧化物、氮化物镀膜）
• 连续运行：允许满功率长期不间断运行，无占空比限制
• 并联扩容：支持 Arc‑link 同步并联，多台 GX 电源同步输出，做大功率溅射电源组

三、散热、结构与机械

• 散热方案：主水冷 + 辅助风冷；水冷是核心散热，内置小风扇带走辅助功耗
• 水冷要求：流量 ≥1.5 L/min，水压 2–8 bar，进水温度 ≤40 ℃
• 机箱规格：½ 19”，3 HU；尺寸（不含接头）：宽 216 mm × 高 130 mm × 深 591.5 mm
• 净重：约 23 kg
• 面板版本可选
  1. 带 3½ 位数字显示版：显示电压 / 电流 / 功率
  2. LED 状态指示灯版
  3. 盲面板（无显示，适合控制柜内置集成）
• 噪声：风扇噪声＜70 dB (A)

四、控制与通讯接口（选配）

• 模拟控制 AS4 / AS4F / AS6：0–10 V 模拟给定，可快速传输、带限值设定，面板本地旋钮 + 远程模拟控制
• 现场总线选项：Profibus DP、EtherCAT
• 其他选配：电磁阀控制输出（联动工艺气路、靶保护）、Arc‑link 并联套件、双机 19 英寸安装支架

五、保护功能

• 过压 OVP、过流 OCP、过功率保护
• 水冷流量不足、超温保护
• 电弧检测与自动淬灭，不直接停机，工艺连续性更好
• 输出短路保护

六、典型应用场景

• 磁控溅射镀膜：反应溅射、金属膜、氧化物、氮化膜、DLC 类硬质涂层
• 真空镀膜设备、光学镀膜、装饰涂层、刀具涂层
• 实验室等离子体、真空工艺研发
• 半导体、平板显示、光伏薄膜沉积设备

七、配套同系列说明

GX 系列往上还有 GX60 / GX80 / GX100 / GX120 / GX150（最高 15 kW）；同厂 GS 系列为风冷版本，适合不方便接冷却水的工况；GXB 为双极性脉冲版本。