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德国PIXY位移平台P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ纳米定位器

特点：

·         紧凑：表面44毫米×44毫米

·         行程范围为120 µm×120 µm

·         分辨率至0.2 nm

·         特别便宜的系统（机械和控制器）

·         零间隙，高精度挠曲导向系统

·         PICMA®压电执行器，使用寿命长

·         也提供线性和Z载物台，以及XYZ版本

应用领域：

·         干涉仪

·         显微镜检查

·         纳米定位

·         生物技术

·         测试程序和质量保证

·         光子学

·         光纤定位

·         半导体技术

零游隙挠性导轨，导向精度高

挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可以在宽温度范围内工作。

PICMA®压电执行器，使用寿命长

获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明，没有单一故障的1000亿次循环。